光氧凈化設備利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

光氧凈化設備的凈化步驟：

◆進入光氧凈化設備的氣體要經過預處理，除去粉塵、液滴及組分，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒。

◆光氧凈化設備反應放出大量的反應熱，因此氣溫度很高，對這部分熱量。一般先通過換熱器將高溫尾氣與低溫氣體進行熱量交換以減少預熱能耗， 剩余熱量可采用其他方式進行，在生產裝置排出的廢氣溫度較高的場合，如漆包線、絕緣材料等烘干溫度可達300度以上，氣體經過高溫以后分解高空排放。

◆利用光氧凈化設備里面UV燈管與氣體的結合，進行廢氣處理，催化反應才能進行。因此對于低 于起燃溫度的進氣，進行預熱使其達到起燃溫度。對冷時氣進行預熱，因此打氧凈化設備以后，要過一段時間進行廢氣處理，適于連續排氣的凈化，若廢氣為間歇排放，每次可把光氧凈化設備分段開關，預熱器的頻繁啟動，使能耗增加。氣體的預熱達到程度，光氧凈化設備就自動停止工作。自然排放。

◆光氧凈化設備主要成分是UV燈管，光解板在預熱部分，除設置加熱裝置外，還應保持長度的預熱區，以使氣體溫度分布均勻并在使用燃料燃燒加熱廢氣時，廢氣排出。為防止廢氣完整的排放，還可以經過過濾棉篩選，在催化反應部分，再過濾一次。廢氣達標程度在88%。選對產品還得會利用，光氧凈化設備就是利用光催化常溫反響技能。光催化氧化可在室溫下將水、空氣和土壤中污染物氧化成的產品，而傳統的高溫焚燒技能則需求在的溫度下才可將污染物摧毀，即運用慣例的催化、氧化辦法亦需求的高溫。從理論上講，只需半導體吸收的光能不小于其帶隙能，就足以激起發生電子和空穴，該半導體就有也許用作光催化劑。